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受疫情和全球供應鏈緊張的拖累,以及新能源領(lǐng)域需求快速增長(cháng)的影響,2020年忽然席卷全球的缺”芯“潮,讓制造業(yè)吃盡了苦頭,不少企業(yè)不得不因此被動(dòng)減產(chǎn),甚至停產(chǎn)。在此背景下,半導體行業(yè)迎來(lái)了一輪暴發(fā)式增長(cháng)。據統計,近2年全球僅新建和擴建的半導體晶原生產(chǎn)廠(chǎng)就多達50多座,投資超過(guò)2000億美元,其中中國的半導體行業(yè)發(fā)展迅猛,預計2024年,國內半導體產(chǎn)能將占到全球20%的份額。
在這一波半導體產(chǎn)業(yè)擴張浪潮中,半導體相關(guān)設備制造商們獲得了前所未有的發(fā)展良機,但也面臨著(zhù)更高的要求和挑戰。由于半導體制造工藝精密復雜,為保證半導體制造設備的安全性和穩定性,國際半導體設備材料產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì )(SEIM)作為全球半導體產(chǎn)業(yè)的引領(lǐng)者,在半導體制程設備及裝置安全方面發(fā)布了一系列標準,SEMI F47標準就是其中之一。
SEMI F47-0706(0706為版本號)是SEMI委員會(huì )專(zhuān)門(mén)針對半導體制造供電系統電壓瞬降的標準,以防止電網(wǎng)電壓瞬降導致的設備意外停機給半導體生產(chǎn)造成重大影響和損失,其具體要求如下:
用圖形化方式表達如下:
在半導體生產(chǎn)制造過(guò)程中,變頻器作為工業(yè)控制的關(guān)鍵設備,得到了大量廣泛應用。丹佛斯傳動(dòng)一直致力于為廣大用戶(hù)提供最安全、最可靠、最高效的產(chǎn)品和服務(wù),在其FC101,FC360,FC361 等系列變頻器中,專(zhuān)門(mén)集成了針對電網(wǎng)電壓瞬降的借能運行功能,能夠無(wú)需外部干預,在電網(wǎng)電壓瞬降時(shí)適當降低轉速,維持設備連續運行不跳閘。
上述系列丹佛斯變頻器已經(jīng)經(jīng)過(guò)美國電源標準實(shí)驗室(Power Standards Lab,簡(jiǎn)稱(chēng)PSL)的權威測試,于2022年順利通過(guò)了 SEMI F47-0706 的標準認證,滿(mǎn)足半導體行業(yè)設備的要求。對于其他也需要抗電壓瞬降保證設備連續運行的行業(yè),如光伏、玻璃、冶金等行業(yè),滿(mǎn)足SEMI F47 標準的變頻器也將成為維護生產(chǎn)穩定運行的可靠保障。
丹佛斯變頻器借能運行功能簡(jiǎn)介
設置變頻器參數 P14-10 為 [4] 借能運行。
當電源電壓瞬降時(shí),變頻器自動(dòng)降速,令負載處于發(fā)電機運行模式,將機械能轉化為電能,能夠維持住變頻器內部直流電壓,使變頻器短時(shí)間內不跳閘;待電源電壓恢復正常以后,變頻器自動(dòng)恢復正常速度運行。